設備用語集

クリーンルーム


設備用語集

く

クリーンルーム

項目 クリーンルーム / くりーんるーむ
英語 clean room 
意味 室内に存在する浮遊じんあい量を、極端に少ない値に管理している室。半導体や超精密機械の製作に欠かせない。清浄度は「クラス○○」と表現されて何段階かに分かれて規定されている。「無じん室」ともいう。 
五十音順
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か き く け こ
さ し す せ そ
た ち つ て と
な に ぬ ね の
は ひ ふ へ ほ
ま み む め も
や ゆ よ
ら り る れ ろ
わ
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