設備用語集

海塩粒子


設備用語集

か

海塩粒子

項目 海塩粒子 / かいえんりゅうし
英語 saline particle
意味 海の波がくだけで発生する海水の水滴粒子が、内陸部に流れ込んで浮遊しているもの。半導体製造などでは有害物質であり、徹底して除去することが要求される。
五十音順
あ い う え お
か き く け こ
さ し す せ そ
た ち つ て と
な に ぬ ね の
は ひ ふ へ ほ
ま み む め も
や ゆ よ
ら り る れ ろ
わ
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