| 項目 | 超純水 ／ ちょうじゅんすい |
| 英語 | hyperpure water |
| 意味 | 粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率（25℃）が15〜20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。 |
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